Wrth i'r broses lled-ddargludyddion byd-eang symud tuag at nodau uwch o 3nm/2nm, mae deunyddiau titaniwm manwl gywir (ASTM B265/B348, Gradd 1/2/5 uchel-titaniwm purdeb ac aloion titaniwm) yn uwchraddio o "ddeunyddiau ategol" i ddeunyddiau strategol allweddol ar gyfer gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion, gyda manteision craidd megis ultra- purdeb uchel, sefydlogrwydd uchel, sefydlogrwydd thermol uchel, cryfder uchel, cyrydiad uchel. gwrthiant, a phriodweddau anfagnetig. Mae sylw a galw'r farchnad yn cynyddu'n gyson.
Gyrrwr craidd: Mae prosesau uwch yn gorfodi uwchraddio deunyddiau
Mae prosesau lled-ddargludyddion uwch (5nm ac is) yn gofyn am dri gofyniad craidd caled mawr ar gyfer deunyddiau: cywirdeb lefel nanomedr, glendid lefel atomig, a sefydlogrwydd amgylcheddol eithafol:
-Deunydd targed titaniwm purdeb uchel (Gradd 1, purdeb Yn fwy na neu'n hafal i 99.999%/5N): deunydd craidd sputtering PVD, a ddefnyddir ar gyfer haen rhwystr rhyng-gysylltiad copr, plwg cyswllt, i atal trylediad atom copr rhag halogi wafferi silicon, gan bennu cynnyrch a pherfformiad sglodion yn uniongyrchol, sy'n addas ar gyfer y broses gyfan 130-3nm.
-Cydrannau strwythurol manwl (Gradd 2/5): worktable peiriant lithograffeg, siambr peiriant ysgythru, fflans gwactod, braich robotig wafferi, ac ati, gyda cyfernod ehangu thermol isel (8.6 × 10 ⁻⁶/ gradd) ac anffurfiannau amrywiad tymheredd o ddim ond 1/3 o aloi alwminiwm, gan sicrhau cywirdeb lleoli lefel nanomedr.
-Cydrannau sy'n gwrthsefyll cyrydiad (Gradd 7): Yn gallu gwrthsefyll cyrydiad asid/halogen cryf mewn offer ysgythru a glanhau gwlyb, heb lygredd dyddodiad metel, sy'n addas ar gyfer amodau gwaith eithafol gwactod uchel a phlasma cryf.
Manteision craidd deunyddiau titaniwm safonol Americanaidd
1. Purdeb uchel iawn + ultra-amhureddau isel: safon Americanaidd Gradd 1 uchel-titaniwm purdeb gydag amhureddau ocsigen/nitrogen/carbon y gellir eu rheoli<50ppm, no heavy metal pollution such as iron and nickel, meets SEMI F42 standards, and is suitable for advanced process atomic level cleanliness requirements.
2. Sefydlogrwydd thermol + manwl gywirdeb dimensiwn: dargludedd thermol isel (21.9W / (m · K)), cyfernod ehangu thermol bach, goddefgarwch hyd at ± 0.005mm, llyfnder arwyneb Ra Llai na neu hafal i 0.4 μ m, sy'n addas ar gyfer cydosod nanoraddfa a selio gwactod.
3. Gwrthiant cyrydiad + an-rhyddhau magnetig + nwy isel: haen ocsid naturiol yn hunan-iachau, yn gallu gwrthsefyll Cl ₂/F ₂/cyrydiad asid cryf; Heb fod yn fagnetig ac nad yw'n ymyrryd â chylchedau manwl gywir; Mae'r gyfradd rhyddhau aer yn hynod o isel o dan wactod ultra-uchel (UHV), gan sicrhau glendid y siambr.
4. Pwysau Ysgafn a Cryfder Uchel: Dwysedd o 4.51g/cm ³ (40% yn ysgafnach na dur di-staen), cryfder tynnol Gradd 5 Yn fwy na neu'n hafal i 930MPa, cryfder penodol ddwywaith cymaint â dur di-staen, sy'n addas ar gyfer gofynion ysgafn rhannau symud cyflym.
Senarios cymhwysiad craidd
-Deunydd targed titaniwm purdeb uchel (Gradd 1): dyddodiad sputtering PVD, a ddefnyddir ar gyfer haen rhwystr sglodion rhesymeg / storio a haen gludiog, gyda maint marchnad fyd-eang o 1.87 biliwn o ddoleri'r UD yn 2024 a CAGR o 9.3% rhwng 2026 a 2030.
-Siambr / fflans wactod (Gradd 2): System wactod ar gyfer offer ysgythru a dyddodi, gwrthsefyll pwysedd uchel, rhyddhau nwy isel, a selio dibynadwy.
-Effeithydd braich/diwedd robotig manwl gywir (Gradd 5): trosglwyddo wafferi, cryfder ysgafn ac uchel, lleoliad manwl gywir, a dim gollwng gronynnau.
-Leinin/gosodiadau sy'n gallu gwrthsefyll cyrydiad (Gradd 7): Offer prosesu gwlyb, sy'n gallu gwrthsefyll asidau cryf fel HF/HCl, gan ymestyn oes offer a lleihau costau cynnal a chadw.
Tueddiad y farchnad: amnewid domestig + datblygiad technolegol
Mae ehangu gallu lled-ddargludyddion byd-eang (yn enwedig ar dir mawr Tsieineaidd) wedi gyrru twf cyflym y galw am ddeunyddiau titaniwm manwl gywir. Yn 2023, bydd maint marchnad rhannau manwl titaniwm Tsieina ar gyfer lled-ddargludyddion yn fwy na 3 biliwn yuan, gyda chyfradd twf blynyddol o fwy na 25%. Mae cynhyrchiad màs sefydlog o ddeunyddiau titaniwm trachywiredd Gradd 1/2/5 safonol Americanaidd (gan gynnwys ffoil titaniwm ultra 0.05mm, deunyddiau targed purdeb uchel, a chydrannau strwythurol manwl) wedi'i gyflawni, gyda goddefiannau a phurdeb yn cyrraedd lefelau uwch rhyngwladol, gan helpu cadwyn y diwydiant lled-ddargludyddion i fod yn un y gellir ei rheoli'n annibynnol.
O dan brosesau datblygedig ac amnewid domestig o yrru olwyn ddeuol, mae deunyddiau titaniwm manwl sy'n bodloni safonau America wedi dod yn gefnogaeth graidd ar gyfer uwchraddio'r diwydiant lled-ddargludyddion. Yn y dyfodol, byddant yn parhau i dorri trwodd tuag at burdeb uwch (6N), manylebau teneuach (Llai na neu'n hafal i 0.05mm), a pheiriannu mwy manwl gywir (± 0.002mm).
Gofyn am Ddyfynbris
E-bost:bjcxtitanium@gmail.com
Whatsapp:+8613571718779
